Oberflächenbeschichtung im Vakuum

Funktionale Oberflächen erfüllen heutzutage eine Reihe von besonderen Anforderungen, z.B. hinsichtlich Leitfähigkeit oder Wärmeschutz, um nur zwei herauszugreifen. Solche Schichten werden unter anderem mit Verfahren wie PVD (Physical Vapour Deposition) und PACVD (Plasma Activated Chemical Vapour Deposition) erzeugt. Steuerungssysteme für die Oberflächenbeschichtung von Bauteilen im Vakuum zählen ebenfalls zur Angebotspalette von iSAM.

Eine Anwendung betrifft die Beschichtung von Glas für Flachbildschirme. Dafür haben wir ein System auf Basis einer MELSEC®-Steuerung (Mitsubishi Electric) entwickelt, das auf dem asiatischen Markt zum Einsatz kommt.

Die modular aufgebaute Anlage besteht aus einer zentralen Einheit mit einem Manipulator für den Werkstücktransport, einer Schleuse und mehreren Bearbeitungszellen. Die Anzahl der Bearbeitungszellen kann dem Beschichtungsvorgang angepaßt werden. Sowohl das Steuerungssystem als auch die zugehörige Software unterstützen diese Modularisierung, damit einfache Parametrierungen ausreichen, die verfahrenstechnischen Module anzugleichen. Dabei benutzten wir das zustandsorientierte State-Machine-Softwarekonzept, bestens geeignet, um der geforderten Modularität in jeder Hinsicht Rechnung zu tragen.

Die Visualisierung auf Basis des SCADA-Systems InTouch unterstützt den Bediener der Maschine aktiv, z.B. durch Hinweise und Vorschläge, Zustandsprotokollierungen und statistische Auswertungen. Hierfür entwickelte iSAM spezielle Add-ons.

Anwendungsgebiete: Herstellung von Solarzellen, Halbleitern, DVDs, Beschichtung von Glas, z.B. für Flachbildschirme, Fassadenelemente/Fenster


Realisiert bei:

Balzers AG, Liechtenstein

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Shell Solar GmbH

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